Yarı iletken endüstrisinin üretim sürecinde su, temel bir ham madde ve işlem yardımcısıdır. Ancak suda yarı iletken üretim ekipmanı ve ürünlerine zararlı olan organik madde ve klor gibi bazı maddeler vardır. Bu maddeler üretim ekipmanını kirletir, iş verimliliğini düşürür ve hatta üretim kesintilerine ve ürün kalitesinin düşmesine neden olur. Bu nedenle, üretim ekipmanı ve ürünlerinin istikrarını ve verimliliğini sağlamak için yarı iletken endüstrisi suyu arıtmak ve organik madde ve kloru gidermek için aktif karbon filtreleri kullanır.
Yarı iletken endüstrisinin neden yüksek kaliteli suya ihtiyacı var?
Yarı iletken endüstrisinde kullanılan su kalitesi arasında özdirenç, mikropartiküller, kabarcıklar (çözünmüş oksijen, çözünmüş nitrojen) ve TOC çok önemli göstergelerdir. Küçük farklılıklar, yarı iletken bileşenlerinin üretim sürecinde ürün kalitesinde ve kalifiye oranında düşüşe yol açabilir. Belirli etkiler aşağıdaki gibidir:
TOC (toplam organik karbon): Fotolitografi doğruluğunu ve çip kalitesini etkiler.
DO (çözünmüş oksijen): Bakterilerin üremesine, oksit tabakasının oluşmasına neden olur ve talaş kalitesini etkiler.
Bor (bor elementi): PN birleşimini ve talaş kalitesini etkiler.
Silisyum (silisyum elementi): yongalarda su lekelerine neden olur ve çip kalitesini etkiler.
Metal iyonları: yonga atom yoğunluğunu ve çip kalitesini etkiler.
Mikropartiküller: Fotolitografi doğruluğunu etkiler ve iletken mikropartiküller doğrudan kısa devrelere neden olur.
Yarı iletken endüstrisinde ultra saf su uygulaması
Yarı iletken üretiminde ultra saf su, yonga yıkama, kimyasal seyreltme, kimyasal mekanik parlatma, temiz oda ortamında nemlendirme kaynağı vb. için kullanılabilir. Ultra saf suyun kalitesi, yarı iletkenlerin verim oranıyla doğrudan ilişkilidir. Yarı iletken bileşenlerinin boyutu azaldıkça ve karmaşıklıkları arttıkça, ultra saf su kalitesi için teknik gereksinimler de artmaktadır.
Gofretin hazırlanışı:
Ultra saf su, temizlik, partikül ve kimyasal kirliliklerin giderilmesi, gofret yüzeyinin temizliğinin sağlanması ve böylece üretim hatalarının azaltılması amacıyla kullanılır.
Fotolitografi:
Yarı iletken fotolitografi sürecinde, doğru desen tekrarını ve fotolitografi kalitesini sağlamak için maskeleri, lensleri ve gofretleri temizlemek için ultra saf su kullanılır.
Aşındırma ve korozyon:
Ultra saf su, yarı iletken aşındırma ve korozyon işlemlerinde proses doğruluğunu ve tutarlılığını korumak için soğutma ve temizleme amacıyla kullanılır.
Kimyasal mekanik parlatma (CMP):
CMP sırasında yüzey düzgünlüğünü ve kalitesini garanti altına almak için, CMP sırasında yongaların soğutulması, temizlenmesi ve taşınmasında ultra saf su kullanılır.
Elektrokimyasal biriktirme (ECD):
Ultra saf su, elektrokimyasal biriktirme işleminin doğruluğunu ve tutarlılığını sağlamak için metal filmleri, elektrolitleri ve diğer malzemeleri temizlemek için kullanılır.
Ekipman soğutma ve soğutma kuleleri:
Ultra saf su, aynı zamanda yarı iletken ekipmanların uygun bir çalışma sıcaklığında çalışmasını sağlamak için onları soğutmak amacıyla da kullanılır.
Yarı iletken endüstrisinde aktif karbon ile su nasıl arıtılır?
Aktif karbon, yarı iletken su arıtımında birkaç özel rol oynar. İşte temel uygulamalarının kısa bir özeti:
Organik Kirleticilerin Giderilmesi:
Yarı iletken üretim süreçlerine müdahale edebilecek organik bileşiklerin adsorbe edilmesi.
Klor giderme:
Hassas ekipmanlara zarar verebilecek klor ve kloraminleri sudan etkili bir şekilde uzaklaştırır.
İçindekiler Azaltma:
Ultra saf su standartlarının korunması için hayati önem taşıyan Toplam Organik Karbon seviyelerini önemli ölçüde düşürür.
Partikül Filtrasyonu:
Bazı aktif karbon türleri mekanik filtre görevi görerek ince parçacıkları tutar.
RO Membranlarının Korunması:
Ters ozmos membranlarını kirletebilecek veya zarar verebilecek bileşiklerin uzaklaştırılması.
İz Kirleticilerin Giderilmesi:
Yarı iletken kalitesini etkileyebilecek çeşitli safsızlıkların eser miktarlarının yakalanması.
Ön işlem:
İlk arınma adımı olarak görev yaparak, sonraki tedavilerin etkinliğini arttırır.
Çözünmüş Gaz İndirgemesi:
Suyun saflığını etkileyebilecek karbondioksit gibi çözünmüş gazların giderilmesine yardımcı olur.
Çözüm
Yarı iletken endüstrisinin ultra saf suya olan bağımlılığı, gelişmiş su arıtma teknolojilerinin kritik rolünü vurgular. Aktif karbon, bu süreçte vazgeçilmez bir bileşen olarak öne çıkar ve yarı iletken üretiminin bütünlüğünü tehlikeye atabilecek organik bileşikleri, kloru ve diğer safsızlıkları gidermede eşsiz bir verimlilik sunar. Birden fazla kirleticiyi ele almadaki çok yönlülüğü, maliyet etkinliği ve sürdürülebilirliğiyle birleştiğinde, onu endüstrinin katı su kalitesi gereksinimleri için ideal bir çözüm haline getirir.
Zhulin Carbon, yarı iletken endüstrisinin titiz standartlarını karşılamak üzere tasarlanmış yüksek performanslı aktif karbon çözümlerinde uzmanlaşmıştır. Gelişmiş aktif karbon ürünlerimiz, yarı iletken üretimini tehlikeye atabilecek organik bileşikleri, kloru ve diğer kirleticileri etkili bir şekilde ortadan kaldırarak üstün su arıtımı sağlamak üzere tasarlanmıştır.
Şimdi Zhulin Carbon'un yarı iletken su arıtımı için özel olarak tasarlanmış aktif karbon ürün yelpazesini keşfedin.